原标题：一线调研 | 电子特气如何赋能高端制造

在全椒经济开发区电子新材料产业园，有这样一群企业，他们不生产半导体芯片、LED屏、液晶显示器、太阳能电池等电子产品，而是为这些电子产品在制造过程中提供“看不见摸不着”却必不可少的特种气体和各种功能的前驱体材料。

以电子特气为核心产品，全椒县电子新材料产业园目前已集聚南大光电等22家企业，其中规上企业14家，生产电子特气类产品152种，以及前驱体材料、光刻胶材料、电子焊接辅材等，今年1月至10月，实现规上工业总产值26.9亿元。产业园获评“全国电子新材料产业示范基地”“安徽省新材料产业十强园区”。

电子新材料产业是如何在全椒集聚的，通过自主研发、延链强链，又是如何赋能高端制造业发展的？

“努力把南大光电建设成为拥有国际话语权的电子材料公司。”这是全椒南大光电材料有限公司的发展愿景。走进该公司生产厂区，精密设备持续运转，高纯气体在管道中静静流淌，中控室里，显示屏“矩阵”实时跳动着生产数据，工作人员通过电脑精准把控生产流程。作为国内半导体材料领域的先行者，南大光电全椒基地正以“拓荒者”的姿态，持续突破技术壁垒。

“如果把硅片基板比作半导体的‘骨架’，那么高纯磷烷、砷烷等电子特气就是半导体的‘血液’，这些气体在半导体制造的薄膜沉积、光刻、刻蚀、掺杂、钝化、清洗等核心工艺环节中扮演着不可替代的角色。”公司总经理张弘对记者说。江苏南大光电公司2012年上市后，陆续承接“高纯磷烷、砷烷研发及产业化”“高纯ALD/CVD前驱体产品产业化”等国家“02专项”重大项目。向外寻找新的生产基地、更好满足项目需求，显得十分紧迫。

“全椒县敏锐的战略眼光、优越的区位条件和营商环境，以及坚定发展新型化工园区的决心，促成了南大光电全椒基地项目落地。”张弘告诉记者，公司于2013年落户全椒县以来，主攻先进前驱体材料（包含MO源）、电子特气和光刻胶等多项核心材料，产品覆盖面广，市场占有率不断提升，基本实现该领域产品的完全国产化，还进入国际一流公司供应链，去年材料项目、半导体材料项目实现产值约10亿元。

南大光电的落户，加上对电子特气行业广阔前景的精准研判，让全椒县果断设立电子新材料产业园和发展基金。该县充分发挥南大光电龙头效应，围绕“基础化工原材料、化学分离提纯工艺及设备、电子试剂及特种气体、下游应用”全链条招引项目，推动产业集聚和高端化发展。

为此，全椒县打出产业培育“组合拳”：成立专业招商小组，推行“以商招商”模式；创新随叫随到，不叫不到，服务周到，说到做到“四到”精准帮扶和项目投资方、施工方、监理方、帮扶责任单位“四方”周碰头商谈帮办机制，构建“有求必应、无事不扰”的营商环境，持续延链补链强链。

2018年，全椒亚格泰电子新材料科技有限公司成立，核心产品电子级乙硅烷是20nm以下先进制程至关重要的成膜气体，如今产品已进入中芯国际、韩国海力士等供应链。“企业成立之初，因气瓶数量要求不符合特种气体小规模市场实际，在办理气瓶充装证时遇到难题。全椒县积极协调，借鉴江苏经验，帮助企业成功解决了办证问题。”该公司安全总监刘广登回忆说。

2017年从大连来到全椒落户的科利德电子材料有限公司，已实现了7N5级超纯氨、6N5级高纯氧化亚氮、4N5级高纯丙烯等产品的产业化，相关产品性能达到国际先进水平。“我们的终端客户大部分分布在南方，尤其是华东一带。来到全椒，既靠近市场，也便于供应链协同。”公司总经理寻虎对记者说。

园区内，安徽博泰电子材料有限公司是我国第一家掌握高纯三甲基铝的生产工艺技术并能够使技术路线产业化的企业，还是国内唯一一家将甲基铝氧烷产业化的公司；苏州柯仕达深耕助焊剂、清洗剂、稀释剂等电子化工辅材，成为全球消费电子、光伏组件乃至新能源汽车制造中不可或缺的“工业纽带”，正新建年产1600吨热界面材料及2000吨水基电子助焊剂生产线……

从一片空白到集群成势，全椒电子新材料产业园正瞄准细分赛道、对标国际水平，为高端制造持续“输血”赋能。

记者 罗宝（记者 罗宝）